靶材在工具镀膜工艺中扮演着核心材料的角色，主要通过物理气相沉积（PVD）技术，在刀具、模具等工具表面制备高性能薄膜，显著提升其耐磨性、耐腐蚀性、使用寿命及加工性能。

在切削刀具领域，氮化钛（TiN）、氮化铝钛（TiAlN）、氮化铬（CrN）等硬质涂层是最典型的应用。通过溅射工艺，将这些陶瓷靶材沉积于高速钢或硬质合金刀具表面，可形成一层微米级超硬薄膜。该涂层硬度极高（最高可达3000 HV以上），有效减少刀具在高速切削中的磨损，同时其低摩擦系数可减少切削阻力，降低加工温度，从而使刀具寿命提高3至10倍，并允许更高的切削速度，提升加工效率。

在成型模具与精密部件领域，类金刚石（DLC）薄膜和复合氮化物涂层应用广泛。DLC涂层不仅具备高硬度和极低摩擦系数，还拥有良好的化学惰性，适用于铝压铸模、注塑模及汽车发动机零部件，可有效防止熔融金属粘连、减少脱模阻力，并抵抗腐蚀性介质侵蚀。此外，通过使用铬靶、钼靶或复合合金靶材制备的多层梯度涂层，能够更好地匹配基体与涂层间的热膨胀系数，增强膜基结合力，避免涂层在高温高压工况下剥落。

靶材的性能直接影响最终涂层的质量。高纯度、高密度及均匀结晶取向的靶材能保证沉积薄膜成分精确、结构致密且厚度均匀。随着绿色制造与智能制造需求的提升，工具镀膜工艺正向多元化、复合化方向发展，如开发自适应智能涂层、纳米多层结构涂层等，这些都离不开新型高性能靶材的支撑。因此，靶材技术的进步持续推动着工具镀膜行业向更高效、更耐用的方向发展。