HEA(TaNbMoW)

■ 品名:HEA(TaNbMoW)
■ 化学式:TaNbMoW
■ 应用行业:半导体/微电子
■ 性能需要:低电阻率、高抗电迁移性
■ 具体尺寸按客户要求定制

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高熵靶材是基于高熵效应研发的新一代高性能溅射靶材,由五种或以上主元素以接近等摩尔比组成,具备超高硬度、耐高温、耐腐蚀、抗腐蚀、抗辐照等卓越性能,广泛应用于精密镀膜、半导体、新能源、航空航天等领域。

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